アンテナ付MOSキャパシタによるチャージアップ電荷量の評価
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概要
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電荷収集電極(アンテナ)を有するMOSキャパシタを用いてプロセス中のチャージアップにより受けるダメージ電荷量を定量的に評価する技術を開発し、実際にイオン注入装置のチャージアップ電荷量の見積もりを行なうことで有効性を確認した。小面積キャパシタにアンテナ電極をつけることによりチャージアップ電荷量検出感度をアンテナ比倍高くすることができるが、キャパシタの酸化膜厚、基板タイプ、面積などをチャージアップの状況に応じて適当に選択することがチャージアップ電荷量の定量化には重要である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-10
著者
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米田 健司
松下電子工業
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戸所 義博
松下電子企画部
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戸所 義博
松下電子工業
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久保 裕子
松下電子工業
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名村 高
松下電子工業
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大石 博司
松下電子工業
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久保 裕子
松下電器産業産業(株)半導体社 プロセス開発センター
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