湯浅 俊郎 | 阪大産研:科技団crest

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概要

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関連著者

• 湯浅 俊郎

  阪大産研:科技団crest

• 米田 健司

  松下電子工業

• 小林 光

  阪大産研:科技団crest

• 小林 光

  阪大産研:科技振・戦略基礎

• 小林 光

  阪大産研,科技振・戦略基礎

• 湯浅 俊郎

  阪大産研

• 毎田 修

  阪大産研

• 毎田 修

  大阪大学大学院工学研究科電気工学専攻

• 小林 光

  阪大産研

• 毎田 修

  阪大産研:科枝団CREST

• 米田 健司

  松下電子ULSIプロ開セ

• 中戸 義禮

  阪大基礎工及び有機光セ

• 小林 光

  阪大基礎工及び有機光セ

• 湯浅 俊郎

  阪大基礎工及び有機光セ

• 山中 一弘

  阪大基礎工及び有機光セ

• 小林 光

  大阪大学産業科学研究所

• 高橋 昌男

  阪大産研

• 戸所 義博

  松下電子企画部

• 戸所 義博

  松下電子工業

• 高橋 昌男

  阪大産研:科技振・戦略基礎

• 戸所 義博

  松下電産研本

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著作論文

• 29pPSA-7 化学的手法で形成した極薄SiO_2膜の物性とリーク電流低減
• 27aXE-10 白金の触媒作用を用いたSi/SiO_2界面の平坦化とリーク電流の低減
• 1p-YE-15 白金の触媒作用を用いたシリコンの低温酸化機構 : バイアス電圧依存性
• 5p-B-2 白金の触媒作用を用いたシリコン酸化膜の低温成長法
• 19pPSB-14 化学的に形成した極薄SiO_2/Si構造の原子密度と価電子帯

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