STI-CMP性能に及ぼすウェーハエッジ形状の影響 : FEM解析を用いたウェーハ面圧分布計算による考察
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-06-25
著者
-
福田 明
(株)荏原製作所
-
福田 哲生
富士通マイクロエレクトロニクス(株)
-
檜山 浩國
(株)荏原製作所
-
辻村 学
(株)荏原製作所
-
土肥 俊郎
九州大学大学院工学研究院
-
黒河 周平
九州大学大学院工学研究院
-
大西 修
九州大学大学院工学研究院
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