STI-CMP性能に及ぼすウェーハエッジ形状の影響 : FEM解析を用いたウェーハ面圧分布計算による考察

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概要

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• 2010-06-25

著者

• 福田 明

  (株)荏原製作所

• 福田 哲生

  富士通マイクロエレクトロニクス(株)

• 檜山 浩國

  (株)荏原製作所

• 辻村 学

  (株)荏原製作所

• 土肥 俊郎

  九州大学大学院工学研究院

• 黒河 周平

  九州大学大学院工学研究院

• 大西 修

  九州大学大学院工学研究院

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