424 磁気軸受制御型研磨ヘッドによる CMP の均一性向上

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2003-10-17

著者

• 辻村 学

  (株)荏原製作所

• 太田 正廣

  東京都立大学大学院

• 太田 正廣

  東京都立大学

• 石井 遊

  (株)荏原製作所

• 辻村 学

  荏原

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