石井 遊 | (株)荏原製作所

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概要

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関連著者

• 辻村 学

  (株)荏原製作所

• 石井 遊

  (株)荏原製作所

• 辻村 学

  荏原

• 太田 正廣

  東京都立大学大学院

• 太田 正廣

  東京都立大学

• 太田 正廣

  関東職業能力開発大学校

• 辻村 学

  荏原製作所

• 徳重 克彦

  (株)荏原製作所

• 太田 正廣

  首都大学東京 大学院 理工学研究科 機械工学専攻

• 徳重 克彦

  荏原製作所

著作論文

• 21712 CMP用研磨パッドの幾何形状のポリッシュプロセスへの影響(平坦化,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
• 20702 CMPにおける磁気軸受制御型研磨テーブルの姿勢制御(機械工学が支援する半導体製造技術(I),OS13 機械工学が支援する半導体薄膜製造技術)
• 20104 磁気軸受制御型研磨ヘッドによるCMPの研磨性能向上(機械工学が支援する半導体製造技術,OS1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
• 磁気軸受制御型研磨ヘッドによるCMPの均一性向上(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• 424 磁気軸受制御型研磨ヘッドによる CMP の均一性向上

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