Si基板上へのGaAs系およびGaN系結晶のヘテロエピタキシーとデバイス応用

元データ 2003-03-10 応用物理学会

著者

梅野 正義 名古屋工業大学
神保 孝志 三重大学電気電子工学科
江川 孝志 名古屋工業大学
神保 孝志 名古屋工業大学
梅野 正義 中部大学工学部
神保 孝志 名古屋工業大学極微デバイス機能システム研究センター
Jimbo T Nagoya Inst. Technol. Nagoya Jpn

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