レーザSQUID顕微鏡,レーザテラヘルツ放射顕微鏡,関連シミュレーションの統合的/選択的利用 : 電気的非接続でのLSIチップ故障箇所絞り込み手法(LSIを含む電子デバイスの評価・解析・診断,及び信頼性一般)
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概要
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LSIチップの故障箇所を,外部からの電源印加も電気信号入力も行わずに,非破壊で絞り込む手法として,レーザSQUID顕微鏡(L-SQ)とレーザテラヘルツ放射顕微鏡(LTEM)を提案している.L-SQでは連続発振レーザビーム照射によりLSIチップに励起された光電流が誘起する磁場を検出する.LTEMではフェムト秒レーザビーム照射によりLSIチップ内に励起された光電流が発するテラヘルツ波を検出する.これらと,両手法の機能の一部をシミュレートするソフトウェアを,組合せてあるいは選択的に用いることで,LSI配線系の多くの故障モードの故障原因欠陥を絞り込むことができる.従来我々が発表している成果を整理し,総括して示すことでその全体像を紹介する.
- 2011-05-06
著者
-
中前 幸治
大阪大学大学院情報科学研究科
-
中前 幸治
阪大院情報科学
-
山下 将嗣
理化学研究所
-
三浦 克介
大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
-
二川 清
大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
-
二川 清
Necエレクトロニクス(株)
-
御堂 義博
大阪大学大学院情報科学研究科
-
御堂 義博
大阪大学情報科学研究科
-
御堂 義博
大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
-
山下 将嗣
理化学研究所基幹研究所先端光科学研究領域
-
松本 徹
浜松ホトニクス株式会社システム事業部第3設計部
-
松本 徹
浜松ホトニクス株式会社 システム事業部 第3設計部
-
松本 徹
浜松ホトニクス
-
三浦 克介
大阪大学大学院情報科学研究科
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