D-11-129 弛緩法を用いたLSI微細形状露光パターンSEM像とCADレイアウトのパターンマッチング(D-11. 画像工学D(画像処理・計測), 情報・システム2)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-03-07
著者
-
中前 幸治
大阪大学大学院情報科学研究科
-
藤岡 弘
大阪大学大学院工学研究科情報システム工学専攻
-
藤岡 弘
福井工業大学 経営情報学科
-
中前 幸治
阪大院情報科学
-
三浦 克介
大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
-
藤田 将史
大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
-
藤岡 弘
大阪大学大学院 工学研究科
-
三浦 克介
大阪大学大学院情報科学研究科
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