EB・FIB統合化テストシステム(<特集テーマ>:「LSIシステムの実装・モジュール化, テスト技術, 一般)
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概要
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電子ビーム(EB)テストシステムと集束イオンビーム(FIB)加工装置を統合化したテストシステムを紹介する。この統合化テストシステムにより、LSIテスタにより故障が検出されたLSIの故障領域(箇所)の絞り込みをEBテストシステムにより行い、その後、FIB加工装置により故障箇所の特定と修復および検証を行う一連の故障診断・修復過程が迅速に行える。
- 2001-12-13
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