ハイブリッドGAによるCADレイアウトとDUT配線パターン観測画像とのパターンマッチング
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
CADリンク電子ビームテストシステムでは、LSIチップ上の多数の配線から測定したい配線を探索するため、CADデータの設計レイアウトパターンから測定したい配線箇所を探索し電子ビームプローブを位置決めする。このためにCADレイアウト画像とDUT配線パターン観測画像とのマッチングが必要となる。一般にパターンマッチングは、膨大な探索空間での探索となり、その所要時間が長くなる。先に我々は、CADレイアウトのコーナーパターンを有効に利用したパターンマッチング法を報告した。最近、最適化問題に対する解法アルゴリズムとして、生物の進化過程を模擬した遺伝的アルゴリズムが注目されている。このアルゴリズムは、膨大な探索空間のため全探索が実際上不可能な探索問題にも有効であると報告されている。しかしながら、遺伝的アルゴリズム(GA)は最適解の周辺には早く近づくが局所探索能力が弱いという問題も指摘されている。本研究の目的は、大域的探索に優れた確率的探索手法である遺伝的アルゴリズムと局所的探索に優れた決定論的手法を組み合わせたハイブリッド遺伝的アルゴリズム(HGA)を用いて、CADレイアウトとDUT配線パターン観測画像とのパターンマッチングを行なう手法を確立することである。
- 1996-09-18
著者
関連論文
- 大学院情報系学生に対する技術者倫理教育(技術者倫理・情報倫理教育の現状と課題,及び一般)
- D-7-5 医学応用3次元眼球運動シミュレータ
- 知識ベース構築による光学顕微鏡観測画像からの標準セル設計VLSI回路認識
- VLSIウェーハ製造工程における検査プロセス戦略の評価
- 超LSIプロセスシミュレーションによるパーティクルの歩留まりに与える影響の評価
- DUT配線パターン光学顕微鏡観測画像からの知識ベース構築による回路抽出
- C-12-66 走査レーザSQUID顕微鏡によるシミュレーションを活用したVLSI故障絞り込み法(C-12.集積回路,一般セッション)
- LSI生産システムにおけるファイナルテスト工程の評価(II)
- C-12-8 BGAパッケージのはんだボール検査システム
- C-12-4 半導体デバイス外観検査装置の照明方式検討用CGシステム
- C-12-33 QCA-PLAの耐欠陥性向上(C-12.集積回路,一般セッション)
- LSI 観察・評価装置
- C-12-2 VLSIテスタビリティ改善のための内部電流テストポイント導入
- G-014 電子顕微鏡トモグラフィのためのマーカーフリーアライメント手法の検討(G分野:生体情報科学,一般論文)
- C-12-32 LSI故障診断用走査レーザSQUID顕微鏡観測画像のシミュレーション(C-12.集積回路ABC,一般講演)
- C-12-4 レイアウト依存バラつきを考慮したVLSI故障診断法の検討(C-12.集積回路ACD,一般講演)
- C-12-3 弛緩法マッチングと散布図解析によるVLSI自動欠陥検出の精度向上(C-12.集積回路ACD,一般講演)
- G-023 平衡神経・眼球運動シミュレータを用いた良性発作性頭位めまい症の治療支援(G分野:生体情報科学)
- 抽出レイアウト情報を用いたSoCマクロブロックの故障診断手法(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
- D-11-127 SEM画像におけるLSI微細構造計測のためのスケールスペース理論を用いた境界抽出(D-11.画像工学D(画像処理・計測),一般講演)
- D-11-129 弛緩法を用いたLSI微細形状露光パターンSEM像とCADレイアウトのパターンマッチング(D-11. 画像工学D(画像処理・計測), 情報・システム2)
- D-11-118 LSI断面SEM観測画像における多重ガウシアンフィルタリングによる境界抽出(D-11. 画像工学D(画像処理・計測), 情報・システム2)
- 機能テストフェイル情報とCADレイアウト抽出ネットリストを用いたLSI故障診断手法(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術, テスト実装, 一般)
- 電子ビ-ムテスタ環境下での組合せ回路の遅延故障診断(LSIシステムの実装・モジュール化技術及びテスト技術,一般)
- 電子ビ-ムテスタ環境下での組合せ回路の遅延故障診断(LSIシステムの実装・モジュール化技術及びテスト技術,一般)
- 少量多品種ロジックLSIの実製造デバイスデータを用いたウェーハテスト工程環境の評価 : 同時測定可能LSIテスタ環境とロット割付アルゴリズム(半導体材料・デバイス)
- C-12-1 人の特性を考慮できる VLSI テスト工程シミュレータ
- LSIテスティングの最近の動向
- レイアウトからの逐次回路抽出によるSoCの故障追跡 : バウンダリスキャン設計IPの故障追跡
- レイアウトからの逐次回路抽出によるSoCの故障追跡 : バウンダリスキャン設計IPの故障追跡
- EBテストシステムVLSI故障追跡支援のためのレイアウトからのスケマティック自動生成
- メモリフェイルビッドマップの故障パターン分類・原因類推システム
- メモリフェイルビットマップの故障パターン分類・原因類推システム
- C-12-1 メモリフェイルビットマップの故障パターン分類及び分布推定システム
- H-043 試料傾斜角の異なる複数枚SEM画像からのLSI三次元形状推定(H分野:画像認識・メディア理解,一般論文)
- 超LSI生産システムファイナルテスト工程のスケジューリングシミュレーションによるロット処理優先規則の評価
- C-12-5 LSI製造プロセスシミュレータによる歩留まり低下要因早期検出法の検討
- 超LSI故障個所解析装置の開発
- C-12-28 DRAMリペア構成とアナリシスの評価
- C-12-3 EB・FIB統合化テストシステムにおけるFIB加速電圧の低電圧化
- C-12-4 LSI断面SEM観測画像の微細形状計測アルゴリズム
- EB・FIB統合化テストシステム(:「LSIシステムの実装・モジュール化, テスト技術, 一般)
- EB・FIB統合化テストシステム(:「LSIシステムの実装・モジュール化, テスト技術, 一般)
- C-12-3 CADレイアウトを考慮した組合せ回路のEBテスタ遅延故障位置特定アルゴリズム
- レイアウトからの逐次回路抽出によるEB自動故障追跡法
- IDDQを用いた, 多様なリーク電流を有するCMOSLSIの故障診断 (テストと設計検証論文特集)
- C-12-6 ウェーハテスト工程におけるウェーハ管理コード認識システム
- C-12-9 IDDQ異常現象を用いたLogic回路の歩留り向上の為の欠陥診断技術
- Killer欠陥抽出の為の診断領域の定義 : IDDQ異常現象を用いた故障診断
- IDDQ異常現象を利用した配線ショート個所検出手法
- ハイブリッドGAによるCADレイアウトとDUT配線パターン観測画像とのパターンマッチング
- レーザSQUID顕微鏡,レーザテラヘルツ放射顕微鏡,関連シミュレーションの統合的/選択的利用 : 電気的非接続でのLSIチップ故障箇所絞り込み手法(LSIを含む電子デバイスの評価・解析・診断,及び信頼性一般)
- 量子ドットセルオートマトンPLAの信頼性評価(LSIを含む電子デバイスの評価・解析・診断,及び信頼性一般)
- LSI生産システムにおけるテスト工程の短TAT戦略とコスト評価
- 小ロットサイズ300mmウェーハのLSIファイナルテスト工程の効率とコストへの影響
- 超LSI生産システムファイナルテスト工程のスケジューリングに与える特急品の影響
- 超LSIファイナルテスト工程のスケジューリング及びコストに与えるロット到着分布の影響
- 超LSI生産システムファイナルテスト工程のロット処理優先規則スケジューリングの評価
- 故障シミュレーションとEBテスタテストパターン系列を利用した組合せ回路のEBテスタ故障位置特定アルゴリズム (テストと設計検証論文特集)
- 故障シミュレーションを利用したEBテスタVLSI故障追跡アルゴリズム
- EB・FIB統合化テストシステムの開発
- EB・FIB統合化テストシステムの開発
- LSI生産システムにおけるウェーハテスト工程の評価
- EBテスタ観測画像からの動信号領域抽出とその擬似カラー表示
- C-12-7 LSIパッケージリード端子自動検査システム
- C-12-9 VLSIウェーハ製造工程における検査・修正プロセスのモデル化と経済性評価
- D-7-10 ビデオカメラ画像を用いた眼球運動追跡システムのための頭部運動検出
- レイアウト解析によるEBテスティング容易化テストパッド配置優先順位の決定
- C-12-4 VLSIウェーハ製造工程における検査プロセス戦略の経済性評価
- EBテストシステムにおける画像ベースの多重故障対応自動故障診断法
- B-19-28 人の健康モニタリングのためのリアルタイム圧縮センシング(B-19.ユビキタス・センサネットワーク,一般セッション)