メモリフェイルビッドマップの故障パターン分類・原因類推システム
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概要
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フェイルビットデータからマクロレベルとミクロレベルの2段階で故障パターンを抽出・分類し、その結果を故障原因類推の専門家の知識と照らし合わせることによって故障原因類推を支援するシステムの構築を目指している。マクロレベル、ミクロレベルのフェイルビットマップ(FBM)画像からそれぞれ予め定義してある故障パターンへの分類を行い、注目するマクロレベル故障パターン中のミクロレベル各故障パターンの内訳から、各故障パターンと故障原因との対応関係を用いることによって故障原因となった工程と、その工程で起こっている故障現象の類推が可能となる。また、各故障パターン毎にマクロレベルFBMを再構築し、画像のモーメント値を計算することによってウェーハ上における故障パターン毎の分布推定を行っている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-02
著者
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