IR-OBIRCH法によるチップ裏面からの観測--Iddq経路およびその物理的原因欠陥の非破壊検出 (LSIの評価・解析技術特集) -- (製造プロセス評価解析技術)

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概要

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• 日本電気の論文

著者

• 二川 清

  大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻

• 井上 彰二

  情報技術開発半導体

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