井上 彰二 | 情報技術開発半導体
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概要
関連著者
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二川 清
大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
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井上 彰二
情報技術開発半導体
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二川 清
日本電気(株)necエレクトロンデバイス
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中前 幸治
阪大院情報科学
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二川 清
NECエレクトロニクス
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三浦 克介
大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
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二川 清
Necエレクトロニクス(株)
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三浦 克介
阪大院情報科学
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二川 清
Nec 材料部品分析評価セ
著作論文
- CT-2-1 LSI不良・故障解析技術の現状とレーザSQUID顕微鏡の適用(CT-2. SQUID先端検査技術の実用化を目指して,チュートリアルセッション,ソサイエティ企画)
- レーザビームとSQUID磁束計を組み合わせた新しい非破壊・非接触チップ検査・解析技術 : 走査レーザSQUID顕微鏡
- レーザビームとSQUID磁束計を組み合わせた新しい非破壊・非接触チップ検査・解析技術 : 走査レーザSQUID顕微鏡
- OBIRCHとTEMによる極薄高低抵抗箇所の検出と解析--OBIRCHによる非破壊検出とTEMによる構造解析 (LSIの評価・解析技術特集) -- (製造プロセス評価解析技術)
- IR-OBIRCH法によるチップ裏面からの観測--Iddq経路およびその物理的原因欠陥の非破壊検出 (LSIの評価・解析技術特集) -- (製造プロセス評価解析技術)
- レ-ザビ-ム照射加熱を用いたLSIの故障解析--感度向上,選択走査および近赤外線利用の試み (半導体デバイス特集) -- (基盤技術)