レ-ザビ-ム照射加熱を用いたLSIの故障解析--感度向上,選択走査および近赤外線利用の試み (半導体デバイス特集) -- (基盤技術)

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概要

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• 日本電気の論文

著者

• 二川 清

  大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻

• 井上 彰二

  情報技術開発半導体

• 二川 清

  Nec 材料部品分析評価セ

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