LSIの信頼性技術について (LSI特集)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本電気の論文

著者

• 二川 清

  Nec 材料部品分析評価セ

関連論文

• レ-ザビ-ムを用いた配線欠陥非破壊検査法 (LSIの故障解析技術--故障箇所の絞り込みと特定化技術)
• 集束イオンビ-ム(FIB)を用いた故障解析技術 (LSIの故障解析技術--故障箇所の絞り込みと特定化技術)
• LSIの故障解析技術 (半導体デバイス特集) -- (信頼性技術)
• 超LSIとエレクトロマイグレ-ション (LSI特集)
• LSIの信頼性技術について (LSI特集)
• レ-ザビ-ム照射加熱を用いたLSIの故障解析--感度向上,選択走査および近赤外線利用の試み (半導体デバイス特集) -- (基盤技術)

スポンサーリンク