レーザーテラヘルツ放射顕微鏡の開発とLSI故障解析への応用 (特集:最近のテラヘルツ技術の動向)
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概要
著者
-
斗内 政吉
大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
-
山下 将嗣
理化学研究所
-
二川 清
大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
-
二川 清
Necエレクトロニクス(株)
-
Tonouchi Masayoshi
Powersource And Device Development Daihen Corporation
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