磁気ヘッド用パーマロイ薄膜作製における各種スパッタ法の適用
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概要
著者
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石井 清
宇都宮大学工学科機能創成部
-
石井 清
宇都宮大学
-
直江 正彦
東京工業大学 電子物理工学専攻
-
星 陽一
東京工業大学工学部
-
山中 俊一
東京工業大学工学部
-
直江 正彦
東京工業大学
-
山中 俊一
東京工業大学
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石井 清
宇都宮大学工学部
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