対向ターゲット式スパッタ法による等方的高透磁率Ni-Fe/Al, Ni-Fe/Co_<67>Cr_<33>多層膜の作製
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概要
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- 1996-07-13
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
野中 源一郎
九州大学薬学部
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
市原 貴幸
東工大 工
-
直江 正彦
東京工業大学 電子物理工学専攻
-
市原 貴幸
東京工業大学工学部電子物理工学科
-
直江 正彦
東京工業大学
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