ガスフロースパッタ法により低温で作製したAlドープZnO薄膜の電気的・光学的性質の酸素量依存性 (機構デバイス)
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概要
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- 2010-06-25
著者
-
石井 清
宇都宮大学工学科機能創成部
-
佐久間 洋志
宇都宮大学
-
須藤 隆吉
宇都宮大学大学院電気電子システム工学専攻
-
近藤 祐邦
宇都宮大学大学院電気電子システム工学専攻
-
荒巻 慶輔
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
-
尹 〓成
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
-
近藤 洋文
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
-
近藤 洋文
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
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