クラスター堆積法を利用したFeグラニュラー磁性体の新規合成
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概要
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粒径が数nmの粒子から構成されるグラニュラー物質のシステマティックな合成のためには、独立に生成したクラスターを堆積させることが有用と考えられる。筆者らは、クラスター堆積に適したホローカソードスパッタ型クラスター源を2機用い、クラスターとマトリクス物質の蒸気を混合した後に基板に堆積する方法を考案した。その方法により、平均粒径が5nmのFeのクラスターとAg蒸気の混合堆積を行い、濃度を制御したFeグラニュラー薄膜の作製について調べた。その結果、Feクラスターの濃度はAg蒸気の量を変化させることにより厳密に行え、緻密でクラスターの分散性が良いグラニュラー薄膜が作製できることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-10-29
著者
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