ガスフロースッパタ法による強磁性微粒子分散膜
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概要
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ガスフロースパッタ法と呼ぶ1Torrレンジの高圧力スパッタ法によると、スパッタ原子を蒸気の状態で基板に供給できるとともに、ガス中で微粒子に凝縮させて供給することもできる。その方法を利用することにより、FeやCoの超微粒子が分散した金属膜を作製する新しいプロセスが構築できた。そして、Co微粒子の分散したCu膜を作製し、その構造と磁気抵抗を調べた。Co量が25at.%以下の膜では、Co微粒子はほぼ孤立して分散していることが推察され、その磁気抵抗は巨大磁気抵抗であることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-15
著者
-
石井 清
宇都宮大学工学科機能創成部
-
石井 清
宇都宮大学
-
後藤 充
宇都宮大学工学部
-
原 徹
National Institute For Material Science
-
原 徹
帝京大学理工学部
-
大庭 卓也
帝京大学理工学部
-
森 幸男
宇都宮大学工学部
-
大庭 卓也
Department Of Materials Science Interdisciplinary Faculty Of Science And Engineering Shimane Univers
-
大庭 卓也
島根大学総合理工学部
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