完全熱化条件下のスパッタ成膜 : Co膜について
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概要
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円筒パイプ状のターゲットを用い、Arガスの強制流によりスパッタ粒子を基板まで輸送すると、1 Torrレンジの圧力下でもスパッタ成膜が可能である。その場合、スパッタ粒子はAr中で完全に熱化した状態で堆積するため、従来の成膜プロセスと異なった膜成長過程が実現できる。その方法によると、粒界が発達した粒子状の構造を有するCo膜が得られる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-08
著者
-
石井 清
宇都宮大学工学科機能創成部
-
石井 清
宇都宮大学
-
川津 雅巳
宇都宮大
-
石井 清
宇都宮大
-
川津 雅巳
宇都宮大学工学部電気電子工学科
-
南田 宏典
宇都宮大学工学部電気電子工学科
-
南田 宏典
宇都宮大
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