CS-5-2 バイアススパッタ低温結晶化における衝突シースによるイオンのエネルギー逓減効果(CS-5.ナノスケール時代を迎えた薄膜電子材料の展開,エレクトロニクス2)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-09-07
著者
-
石井 清
宇都宮大学工学科機能創成部
-
石井 清
宇都宮大学
-
齋藤 和史
Utsunomiya University
-
佐久間 洋志
宇都宮大学
-
渡辺 康治
宇都宮大学 工学部 電気電子工学科
-
古谷 健悟
宇都宮大学 工学部 電気電子工学科
-
齋藤 和史
宇都宮大学 工学部 電気電子工学科
-
齋藤 和史
宇都宮大院工
-
斎藤 和史
宇都宮大・工
-
斎藤 和史
九大総理工
-
斎藤 和史
宇都宮大工
-
佐久間 洋志
東京工業大学総合理工学研究科
-
佐久間 洋志
宇都宮大学大学院電気電子システム工学専攻
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