Estimation of Optimum Ion Energy for the Reduction of Resistivity in Bias Sputtering of ITO Thin Films
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Tin-doped indium oxide (ITO) thin films were prepared on a polyethylene terephthalate (PET) foil by bias sputtering. In the absence of a substrate bias, films having a high resistivity of 2×10-2Ω·cm were formed. On the other hand, by the application of an rf substrate bias, films having a low resistivity of 2.6×10-4Ω·cm were formed. The energy of ions that bombarded the substrate during bias sputtering was estimated by a simulation of the ion acceleration. The optimum ion-energy required for the reduction of resistivity was found to be approximately 50eV.
- （社）電子情報通信学会の論文
- 2008-10-01
著者
-
斎藤 和史
宇都宮大・工
-
斎藤 和史
宇都宮大工
-
Saitou Yoshifumi
Utsunomiya University
-
Ikeda Yoshito
Sony Chemical & Information Device Corporation
-
ISHII Kiyoshi
Utsunomiya University
-
FURUTANI Kengo
Utsunomiya University
-
SAKUMA Hiroshi
Utsunomiya University
関連論文
- 20pTJ-5 マイクロ波放電プラズマの境界領域での中性粒子挙動(20pTJ プラズマ基礎(輸送・閉じ込め特性・放電理論),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 23pTJ-5 帯電微粒子超音速流のシミュレーション(23pTJ プラズマ基礎(非線形現象・強結合系),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 二次元微粒子プラズマの様々な挙動 : 新しい実験装置YCOPEX の持つ大きな可能性 (2007/2008年度宇宙関連プラズマ研究会講演集)
- CS-6-1 PET上への結晶化した低抵抗なITO薄膜の作製(CS-6.薄膜の高機能発現をともなう低温成膜技術の最前線,シンポジウム)
- CS-5-2 バイアススパッタ低温結晶化における衝突シースによるイオンのエネルギー逓減効果(CS-5.ナノスケール時代を迎えた薄膜電子材料の展開,エレクトロニクス2)
- ガスフロースパッタ法における低エネルギーイオンアシストによるITO薄膜の低温結晶化(電子部品・材料, 及び一般)
- 23aRE-6 対向電極ダブル・プローブに関する2次元粒子シミュレーション(プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 26pYL-8 帯電微粒子流におけるボイド構造のシミュレーション(プラズマ基礎(非中性プラズマ・ダストプラズマ・強結合系),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 26pYL-7 微粒子流中におかれた障害物の下流における微粒子の振る舞い(プラズマ基礎(非中性プラズマ・ダストプラズマ・強結合系),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 28pSP-5 微粒子プラズマ乱流生成の試み(28pSP プラズマ宇宙物理(コンプレックスプラズマ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 第35回プラズマ物理に関する欧州物理学会年会(EPS)報告
- 20pQE-10 JT-60Uのデタッチプラズマにおける電子分布関数の評価(プラズマ基礎(非線形現象・高エネルギー密度プラズマ),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 28aUC-3 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験II : プラズマ流と中性粒子(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28p-YG-5 自己変調するプラズマ波のスペクトル分析
- 27a-Q-8 イオン波の包絡衝撃波の形成と進化
- 31a-WA-7 低周波振動のポンデロモーティブ力の効果
- 30p-YB-2 イオンビーム・プラズマ系内における多モード非線形波動
- 12a-M-2 プラズマ境界領域における静電表面波の励起と諸特性
- 30p-XM-7 ビーム・プラズマ系内波動の自己変調と爆発不安定性II
- 27a-C-11 イオン波によるプラズマ・キャビティー形成と捕捉波の自己変調II
- 30p-YQ-12 イオン波によるプラズマ・キャビティー形成と捕捉波の自己変調
- 27aWH-9 電子と2成分のイオンからなるプラズマにおけるイオン音波の遷移現象(プラズマ基礎・科学(波動))(領域2)
- 25pQB-3 Landau減衰影響下におけるイオン音波ソリトン様波動(25pQB プラズマ基礎(波動現象・不安定性・輸送),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 20aTD-4 対向包極間の拡散プラズマの流れと電流
- Estimation of Optimum Ion Energy for the Reduction of Resistivity in Bias Sputtering of ITO Thin Films
- Sheath-Plasma Criterion of Fluid Theory with Finite Ion Temperature
- FOREWORD
- Neutral Particles at the Boundary of Microwave Discharge Plasma in HYPER-I
- Anomalous Relaxation in Magnetoresistance of Fe/Fe-O Granular System (特集 イノベーションを支える最新の計測技術2012)
- 24aYE-13 プラズマ中の2次元微粒子シートに励起される波動モード(24aYE プラズマ基礎(シミュレーション・原子過程・分光・診断法・非中性プラズマ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- Anomalous Relaxation in Magnetoresistance of Fe/Fe-O Granular System
- 20aFA-8 極低温コンプレックスプラズマ実験に向けた電子温度制御(20aFA プラズマ基礎(負イオン,非中性プラズマ,コンプレックスプラズマ,強結合プラズマ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- Flow Measurement of Boundary Plasma in TRIAM-1M Tokamak
- 29aEA-6 コンプレックスプラズマによる渦巻構造のジェット形成実験(29aEA 領域2,地球電磁気・地球惑星圏学会,日本天文学会合同 プラズマ宇宙物理(3学会合同セッション:シミュレーション技法,ダスト(コンプレックス)プラズマ・弱電離プラズマ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 1a-YM-3 イオンビーム・プラズマ系内波動の自己変調現象(1aYM プラズマ物理・核融合(プラズマ基礎),プラズマ物理・核融合)