C-6-6 ガスフロースパッタ法によるZnO薄膜の作製(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-09-01
著者
-
石井 清
宇都宮大学工学科機能創成部
-
石井 清
宇都宮大学
-
佐久間 洋志
宇都宮大学
-
須藤 隆吉
宇都宮大学大学院電気電子システム工学専攻
-
荒巻 慶輔
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
-
尹 〓成
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
-
近藤 洋文
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
-
渡辺 裕也
宇都宮大学大学院電気電子システム工学専攻
-
池田 義人
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス(株)
-
近藤 洋文
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス(株)
-
荒巻 慶輔
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス(株)
-
尹 〓成
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス(株)
-
佐久間 洋志
東京工業大学総合理工学研究科
-
池田 義人
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス(株)
-
近藤 洋文
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
-
佐久間 洋志
宇都宮大学大学院電気電子システム工学専攻
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