スピンバルブ用反強磁性FeMn膜のSi下地層による特性改善(<特集>磁性薄膜及び一般)
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概要
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トップ型スピンバルブ構造のFeMn/Ni-Fe(Co)二層膜およびボトム型構造のNi-Fe(Co)FeMn二層膜の結晶性および交換結合特性を改善するために,a・Siを下地層として用いることによるNi-Fe(111)及びCo(111)の結晶配向性の向上を利用した.Ni-Fe(Co)/Si二層膜構造の下地層を用いることによって容易にFeMn(111)面配向を得ることができ,トップ型構造の場合にはas-depositedの状態で,またボトム型構造の場合には磁界中においてアニールすることにより,大きな交換結合磁界を発現させることに成功した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-09-17
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
清水 優
(株)東芝セミコンダクター社
-
斉藤 弘幸
東京工業大学 電子物理工学専攻
-
直江 正彦
東京工業大学 電子物理工学専攻
-
直江 正彦
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子物理工学専攻
-
直江 正彦
東京工業大学工学部
-
直江 正彦
Dept. Of Physical Electronics Faculty Of Engineering Tokyo Institute Of Technology
-
直江 正彦
東工大・工
-
直江 正彦
東京工業大学
-
清水 優
東京工業大学 電子物理工学専攻
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