ガラス基板上のc軸配向FePt膜のキュリー点制御とMgOテンプレートによる作製法(媒体及び一般)
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概要
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FePt規則化合金は,次世代記録媒体,特に熱アシスト磁気記録媒体およびビットパターン媒体の候補として研究が行われている.本研究では熱アシスト磁気記録媒体を目指したFePt(Cu)規則化合金薄膜のキュリー点制御性と,将来的な自己組織化パターン媒体を目指したMgOテンプレートによるFePt作製法について報告する.キュリー点制御に関しては,FePtに第三元素として添加するCuの量を調整することにより,結果として150℃から250℃までキュリー温度を制御することに成功した.MgOテンプレートによるFePt作製については,反応性スパッタリングによって作製したMgO(100)/Fe(100)優先配向膜を加熱することによってMgO層の下にあるFeがMgO中に拡散して表面に顕在することを示し,さらにそれを利用してFePt系規則化合金膜を作製することに成功した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-07-03
著者
-
今井 康晴
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
中川 茂樹
東工大
-
池本 潤一
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院
-
池本 潤一
東京工業大学大学院理工学研究科
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院電子物理工学専攻
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