対向ターゲット式スパッタ法によるグラニュラテープメディアの搬送成膜(媒体及び一般)
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概要
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対向ターゲット式スパッタ(FTS)法によって長手記録テープメディアを搬送フィルム基板上に作製した.CoPtCr-SiO_2グラニュラ膜の微細構造への基板フィルムの搬送速度(100cm/min,5.8cm/min)の効果を調べた.搬送速度は,グラニュラ構造の結晶粒(平均直径8nm)に影響を与えなかった.記録再生特性を測定したところ,0.5Gb/in^2クラスの市販の粒子タイプのテープメディアに対して,8dB高いSNRを示した.
- 2008-07-03
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
中川 茂樹
東工大
-
平田 健一郎
東京工業大学
-
井上 鉄太郎
日立マクセルアドバンストメディア事業部
-
土井 嗣裕
日立マクセルアドバンストメディア事業部
-
松鵜 利光
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
松沼 悟
日立マクセル株式会社
-
橋本 篤人
東京工業大学
-
松沼 悟
日立マクセル
-
藤裏 弘樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子情報物理専攻
-
橋本 篤人
東京工業大学電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院電子物理工学専攻
-
井上 鉄太郎
日立マクセル アドバンストメディア事業部
-
藤裏 弘樹
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子情報物理専攻
-
松鵜 利光
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子情報物理専攻
-
土井 嗣裕
日立マクセル アドバンストメディア事業部
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