Co-Cr垂直記録媒体における非磁性シード層の基板温度最適化
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概要
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Ferromagnetic Co_<77>Cr_<20>Ta_3 layers were deposited on paramagnetic Co_<65>Cr_<35> and Pt seed layers. The crystallographic and magnetic characteristics of the Co-Cr-Ta layer were improved by independently adjusting the substrate temperature T_s of the Co_<65>Cr_<35> seed layer in the range 150℃-200℃. The Pt seed layer results in better c-axis orientation even at a low T_s of around 250℃, and a 50-nm-thick Co-Cr-Ta layer deposited on it exhibited a high perpendicular coercivity H_<c⊥> of 2.5 kOe at a T_s of 250℃. Optimization of T_s for the paramagnetic Co-Cr layer and use of the Pt seed layer were effective for depositing ultra-thin Co-Cr-Ta recording layers.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2000-04-15
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
佐藤 厚
東京工業大学 電子物理工学専攻
-
直江 正彦
東京工業大学 電子物理工学専攻
-
直江 正彦
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子物理工学専攻
-
直江 正彦
東京工業大学工学部
-
直江 正彦
Dept. Of Physical Electronics Faculty Of Engineering Tokyo Institute Of Technology
-
直江 正彦
東大
-
佐藤 厚
東京工業大学大学院理工学研究科
-
直江 正彦
東工大・工
-
直江 正彦
東京工業大学
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院
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