RE-TM膜を用いた垂直MTJ中のFeCoスピン偏極層の結晶配向と磁化特性の評価(固体メモリおよび一般)
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概要
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RE-TM合金膜を用いた垂直MTJ内の、TbFeCoとFeCoの磁気的結合について評価を行った。特に、FeCoの結晶配向が異なる二つの試料TbFeCo/FeCo(001)/Ta膜とTbFeCo/FeCo(110)/Ta膜を用意し磁気特性を測定した。その結果、FeCo(001)膜を有する試料ではFeCo(110)膜を有する試料に比べて約9%の角型比の向上を確認した。また、FeCo(001)膜の格子定数を測定し、角型の良い垂直磁化特性を得るためにFeCoの格子を垂直方向に伸張する必要があることについても確認した。
- 2009-10-08
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
中川 茂樹
東工大
-
宮本 尚明
東京工業大学電子物理工学専攻
-
大森 秀人
東京工業大学電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院電子物理工学専攻
-
大森 秀人
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
宮本 尚明
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
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