裏打ち軟磁性層用FeCoB薄膜の結晶子歪と高異方性磁界の関係(記録システム及び一般)
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概要
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FeCoB薄膜における一軸磁気異方性について,FeCo結晶の結晶歪みと配列からその起源を求めた.製膜は対向ターゲット式スパッタ法により行い,結晶構造の解析にはX線回折(XRD)を用いた.下地層にRuを用い500Oeの高異方性磁界を有するRu/FeCoB二層膜において,容易軸方向に傾いた結晶成長と異方的結晶配列が確認された.またFeCo(110)結晶には容易軸方向に0.5%の伸張が観測され,容易軸方向への磁気弾性エネルギーE_<elastic>は3.8×10^5erg/ccと算出された.また,そこから計算される異方性磁界H_kは470Oeとなり,実測値500Oeによい近似をみせたことからFeCo結晶の歪みが特異に高い異方性磁界の発現原因であることが示唆された.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-06-05
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
中川 茂樹
東工大
-
平田 健一郎
東京工業大学
-
松鵜 利光
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
橋本 篤人
東京工業大学
-
橋本 篤人
東京工業大学電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院電子物理工学専攻
-
松鵜 利光
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子情報物理専攻
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