高異方性磁界を有する結晶質FeCoB裏打ち軟磁性層上の垂直グラニュラー膜の配向制御(ハードディスクドライブおよび一般)
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概要
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CoPtCr-SiO_2垂直グラニュラー媒体の結晶性裏打ち軟磁性層としてbcc-FeCo(110)配向したFeCoB膜を利用した.このFeCoB膜の下地層として,Ru膜やSi/NiFe膜を導入することで高い面内一軸磁気異方性を有することやFeCoの結晶性が変化することが確認されており,これが中間層Ruに与える影響を調査した.bcc-FeCo(110)配向膜上にRu/CoPtCr-SiO_2膜を堆積させることで,裏打ち層なしではランダム配向を示したRu層が(001)優先配向を示し,CoPtCrの(001)配向と垂直磁化することが確認された.Ru中間層の膜厚を変化し,FeCo(110)の結晶性を向上させることで,Ru中間層の薄膜化の可能性が示唆された.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2008-11-21
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
中川 茂樹
東工大
-
平田 健一郎
東京工業大学
-
井上 鉄太郎
日立マクセルアドバンストメディア事業部
-
土井 嗣裕
日立マクセルアドバンストメディア事業部
-
松鵜 利光
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
松沼 悟
日立マクセル株式会社
-
橋本 篤人
東京工業大学
-
松沼 悟
日立マクセル
-
橋本 篤人
東京工業大学電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院電子物理工学専攻
-
井上 鉄太郎
日立マクセル アドバンストメディア事業部
-
松鵜 利光
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子情報物理専攻
-
土井 嗣裕
日立マクセル アドバンストメディア事業部
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