磁界印加堆積法によるNi-Fe/Co_<67>Cr_<33>多層膜の透磁率向上 (<特集>多層膜・人工格子・グラニューラー)
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概要
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To control the soft magnetic properties and the magnetic anisotropy of Ni-Fe/Co_<67>Cr_<33> multilayers, an external field H_<ex> of about 80 Oe was applied to films grown by using a facing-targets sputtering (FTS) apparatus during the deposition of the multilayers. The relative permeability μ_r of Ni_<79>Fe_<21>/Co_<67>Cr_<33> multilayers without a Co_<67>Cr_<33> underlayer was drastibally improved in any direction when H_<ex> was applied to the layers in the FTS apparatus. On the other hand, Ni_<79>Fe_<21>/Co_<67>Cr_<33> multilayers with a Co_<67>Cr_<33> underlayer revealed good (111) orientation of Ni-Fe crystallites, which had higher μ_r only in the H_<ex> direction.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1997-04-15
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
市原 貴幸
東工大 工
-
直江 正彦
東京工業大学 電子物理工学専攻
-
市原 貴幸
東京工業大学工学部電子物理工学科
-
直江 正彦
東京工業大学
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