マイクロオプティカルベンチ(MOB)を用いた光結合モジュールの一検討
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概要
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複数の光部品で構成される光モジュールでは, 各部品間の位置合わせの精度が非常に重要である. 光モジュールの低コスト化を実現するためには, バッシブアライメント方式による実装技術が必要不可欠である. 今回, その位置合わせの問題を解決可能な構造としてマイクロオプティカルベンチ(MOB:Micro Optical Bench)を提案し, 試作を行った. またその光結合特性も合わせて報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-08-13
著者
-
伊賀 健一
東京工業大学精密工学研究所
-
加藤 利雄
東京工業大学精密工学研究所
-
伊賀 健一
東京工業大学
-
青木 泰彦
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
水野 純ホジェリオ
東京工業大学精密工学研究所
-
水野 純
東京工業大学精密工学研究所
-
水野 純
東京工業大学・精密工学研究所
-
水野 純ホジェリオ
東京工業大学 精密工学研究所
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