極微開口部を有する半導体微小光分岐回路
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概要
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光の回折を用いた導波路型の光分岐回路やスターカプラーは光信号の分配や合分波機能を実現するために用いられるが、これまでその素子長は,mmオーダーでその極限微少が高密度な光集積回路の実現のために望まれる。そこで、半導体の微細加工技術を導入して1*Nの半導体光分岐回路の微小化の検討を行ったのでここに報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
松谷 晃宏
東京工業大学 精密工学研究所
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所
-
伊賀 健一
東京工業大学精密工学研究所
-
小山 二三夫
東京工業大学
-
伊賀 健一
東京工業大学
-
鈴木 耕一
東京工業大学精密工学研究所
-
加藤 淳一
東京工業大学精密工学研究所
-
松谷 晃宏
東京工業大学
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