微小コーナ反射鏡の有限要素法解析とその光デバイスへの応用
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概要
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新たに1次元有限要素法による光導波路の解析結果から得られた固有関数を用いて, 計算領域にガレルキン法を用いて接続する方法を定式化し, その接続境界の有用性を示した. 本手法は完全なMaxwell方程式の2次元解析プログラムである. 本手法を用いて, 二つの全反射ミラーからなる微小半導体コーナ反射鏡の解析を行った. コーナ反射鏡の導波路幅が1.0μm以下の微小領域での反射率を初めて明らかにし, 微小化した場合の反射率は導波路の閉じ込め係数に制限されることを示した. またコーナ反射鏡の先端部での光強度分布の増大効果を見出した. また, 微小コーナ反射鏡を用いた反射型光分波器や近接場増大手法を提案した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-08-01
著者
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所
-
伊賀 健一
東京工業大学精密工学研究所
-
伊賀 健一
東工大精研
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
小山 二三夫
東京工業大学
-
伊賀 健一
東京工業大学
-
鈴木 耕一
東京工業大学精密工学研究所
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