化学ビーム成長(CBE)法によるGaInAsP/InP結晶成長と面発光レーザへの応用

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概要

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• 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文
• 1992-12-01

著者

• 宮本 智之

  東京工業大学 精密工学研究所

• 小山 二三夫

  東京工業大学精密工学研究所

• 宮本 智之

  東京工業大学 精密工学研究所 マイクロシステム研究センター

• 伊賀 健一

  東京工業大学精密工学研究所

• 内田 貴司

  東京工業大学精密工学研究所

• 小山 二三夫

  東京工業大学

• 伊賀 健一

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• 横内 則之

  東京工業大学精密工学研究所

• 宮本 智之

  東京工業大学

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