トンネル注入SOAの数値解析による動作メカニズムとデバイス特性の解明
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概要
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- 2010-01-21
著者
-
宮本 智之
東京工業大学 精密工学研究所
-
反町 幹夫
東京工業大学精密工学研究所
-
比嘉 康貴
東京工業大学精密工学研究所
-
松崎 真也
東京工業大学 マイクロシステム研究センター
-
反町 幹夫
東京工業大学 マイクロシステム研究センター
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