マイクロマシーニングによる波長温度無依存Add/Dropフィルタ/面発光レーザの可能性
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概要
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波長温度無依存の面発光レーザやAdd/Dropフィルタを実現するために,マイクロマシーン技術を用いた可変波長の垂直共振器構造を提案した.これは,多層膜構造の熱膨張係数差による変位を利用したもので,温度変化による光路長変化を補償する.構造最適化により,ほぼ波長温度無依存の特性とデバイス製作後に共振波長を調整する波長トリミング機能が可能であることを示す.実際に,GaAlAs/GaAsの多層膜反射鏡を用いた垂直共振器フィルタを製作し,その波長温度係数がデバイス構造により広範囲に制御できることを実証した。また,波長トリミングに関する初期実験についても述べる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-11-26
著者
-
松谷 晃宏
東京工業大学 精密工学研究所
-
荒井 昌和
東京工業大学精密工学研究所マイクロンステム研究センター
-
西山 伸彦
東京工業大学 精密工学研究所
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所
-
伊賀 健一
東京工業大学精密工学研究所
-
西山 伸彦
Corning Incorporated
-
西山 伸彦
東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻
-
天野 建
東京工業大学精密工学研究所
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
小山 二三夫
東京工業大学
-
伊賀 健一
東京工業大学
-
天野 建
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
松谷 晃宏
東京工業大学
-
西山 伸彦
東京工業大学
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