小さな波長温度係数を有するマイクロマシン面発光レーザ及び共振型フォトディテクタ(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
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概要
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本研究では,マイクロマシン構造を用いた長波長帯面発光レーザおよび共振型フォトディテクタを提案し,片持ち梁構造の熱膨張層を導入することにより,波長温度無依存動作の可能性を示した.通常の半導体材料では,温度変化に伴い屈折率が変化するため、半導体レーザや共振型光検出器の波長安定化が課題となる.一方,片持ち梁構造においては,温度上昇によるバイモルフ効果によって,共振器長を制御することが可能となり,適切な片持ち梁構造を設計することで共振波長の温度係数を抑制し,その安定化が期待される.本稿では,片持ち梁長85μmのマイクロマシン面発光レーザ構造を用いることで,温度変化に対する波長シフト量が面発光レーザの発振特性およびフォトディテクタの共振特性おいて,0.04nm/Kおよび0.031nm/Kであることをそれぞれ観測した.典型的な半導体レーザの波長シフト量が0.1nm/K程度であるため,片持ち梁構造によって,温度無依存動作の可能性が確認された.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-08-17
著者
-
松谷 晃宏
東京工業大学 精密工学研究所
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所
-
坂口 孝浩
東京工業大学精密工学研究所
-
香野 花沙鈴
Corning Incorporated
-
西山 伸彦
Corning Incorporated
-
ジャント ウィガネス
東京工業大学 精密工学研究所 マイクロシステム研究センター
-
長谷部 浩一
東京工業大学 精密工学研究所 マイクロシステム研究センター
-
石 鍾恩
Corning Incorporated
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
小山 二三夫
東京工業大学
-
坂口 孝浩
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
長谷部 浩一
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
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松谷 晃宏
東京工業大学
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坂口 孝浩
東京工業大学 精密工学研究所
-
坂口 孝浩
東京工業大学
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