マイクロマシーン技術を用いた温度無依存面型光フィルタ
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-03-07
著者
-
西山 伸彦
東京工業大学 精密工学研究所
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所
-
伊賀 健一
東京工業大学精密工学研究所
-
西山 伸彦
Corning Incorporated
-
西山 伸彦
東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻
-
天野 建
東京工業大学精密工学研究所
-
小山 二三夫
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
小山 二三夫
東京工業大学
-
伊賀 健一
東京工業大学
-
天野 建
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
西山 伸彦
東京工業大学
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