マイクロオプティカルベンチ(MOB)を用いた2次元アレー型光デバイスの光軸無調整実装
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概要
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次世代の光ネットワーク, 光情報処理システムに対し, 並列光インターコネクトの実現が望まれている. 本研究では, そのようなシステムにおけるキーデバイスである面発光レーザ(VCSEL)や平板マイクロレンズ(PML)などのアレー型微小光学素子による構成を基本とする光モジュールの光軸無調整実装技術を提案する. マイクロオプティ力ルベンチ(MOB)を用いた2次元アレー型の光モジュールの光軸無調整実装法として, サブマウントを介したVCSEL実装, Siスペーサを用いた2次元光ファイバアレーの提案および基礎検討を行った. 実際にMOBを製作し, PML-単一モードファイバ間(lx4ch)で無調整光結合を行い, 光結合損失3dB以下を実現した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-02-24
著者
-
伊賀 健一
東京工業大学精密工学研究所
-
伊賀 健一
東京工業大学
-
青木 泰彦
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
島田 裕二
東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター
-
水野 純ホジェリオ
東京工業大学精密工学研究所
-
水野 純
東京工業大学・精密工学研究所
-
水野 純ホジェリオ
東京工業大学 精密工学研究所
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