微小コーナ反射鏡の有限要素法解析とその光分波器への応用
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概要
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半導体微小コーナ反射鏡はドライエッチング技術を用いることによって容易に多数集積することが可能であり、大規模な光集積素子を微小領域で実現するのに有望である。本小論では有限要素法を用いて、導波路型半導体コーナ反射鏡の数値解析を行い、サブミクロンオーダーの微小コーナ反射鏡において、充分大きな反射率が期待できることが判った。さらに、このサブミクロン構造のコーナ反射鏡を用いることで反射型半導体光分波器の大きさを従来のものより飛躍的に微小化できる可能性を検討し、百チャンネル程度の半導体光分波器を従来のものより飛躍的に微小化された素子長で実現できる可能性を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-05-15
著者
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