有限要素法による微小コーナ反射鏡の反射率の解析
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概要
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将来の波長多重光通信システム等の実現のためには光集積回路の実現が求められている。光回路の一つとして半導体材料を用いた微小コーナ反射鏡が検討されている。微小コーナ反射鏡はドライエッチング技術を用いることによって容易に多数集積することが可能であり、図1に示すように反射型光分波器などに適用することにより、大規模な集積化が期待できる。しかし数ミクロン程度まで微小にしたコーナ反射鏡の理論的な反射率は明らかにはなっていない。そこで本報告では有限要素法を用いて微小コーナ反射鏡の理論的な反射率を見積もったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
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