反射型半導体微小光分波器の帯域特性に関する考察
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概要
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導波路アレー構造による光分波回路は低損失で優れた波長分解能という利点を持つがサイズが数cm程度と大きく、大規模な集積化に対応する光集積回路の実現のためには光分波器の微小化が重要である。また帯域特性が鋭い放物線状になるためレーザからの信号の波長を通過帯域中心に正確に合わせる必要があり、光源や分波器の顕著な温度特性が現れてしまう。そこで半導体微細加工技術を用いて微小化したフラットな帯域特性を持つ半導体光分波器の基礎的検討をおこなったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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