MOCVD,MBE,CBE成長GaAsの表面平坦性のAFMによる評価
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概要
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(抄録なし)
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-05-20
著者
-
横山 春喜
NTTシステムエレクトロニクス研究所
-
大坂 次郎
Nttフォトニクス研究所
-
大坂 次郎
Ntt Lsi 研究所
-
横山 春喜
NTT LSI研究所
-
井上 直久
NTT LSI研究所
-
活田 健治
NTT LSI研究所
-
杉浦 英雄
NTT光エレクトロニクス研究所
-
井上 直久
大阪府大
-
井上 直久
Ntt Lsi研
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