真空FZ法によるシリコン単結晶の育成 : 融液成長

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1978-11-05

著者

• 大坂 次郎

  Nttフォトニクス研究所

• 井上 直久

  NTT LSI研究所

• 井上 直久

  大阪府大

• 井上 直久

  電々公社武蔵野研究所

• 大坂 次郎

  電々公社武蔵野研究所

• 赤井 康亮

  国際電気(株)

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