27pC14 GaAsのMBE成長の高分解能SEMその場観察(気相成長IV)
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1993-07-10
著者
-
大坂 次郎
Nttフォトニクス研究所
-
大坂 次郎
Ntt Lsi 研究所
-
井上 直久
NTT LSI研究所
-
本間 芳和
日本電信電話(株)ntt物性科学基礎研究所
-
本間 芳和
東理大
-
本間 芳和
Ntt 物性科学基礎研
-
井上 直久
大阪府大
-
井上 直久
大阪府立大学先端科学研究所
-
井上 直久
Ntt Lsi研
-
本間 芳和
境界領域研究所
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