3a-J-6 真空中加熱によるSi(111)基板の凹部内部における(111)平坦面の成長
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1996-03-15
著者
-
荻野 俊郎
横国大
-
荻野 俊郎
横浜国立大学大学院工学研究院
-
本間 芳和
日本電信電話(株)ntt物性科学基礎研究所
-
本間 芳和
東理大
-
本間 芳和
NTT境界領域研究所
-
荻野 俊郎
NTT基礎研究所
-
相沢 則行
東学大
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