脱溶存酸素・超純水によるGaAs(001)表面の洗浄および洗浄表面に対する熱処理の効果
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 1997-04-10
著者
-
住友 弘二
NTT基礎研
-
渡辺 義夫
NTT基礎研
-
渡辺 義夫
Spring-8 Jasri
-
渡辺 義夫
Ntt物性科学基礎研究所
-
住友 弘二
Ntt物性科学基礎研究所
-
廣田 幸弘
NTT基礎研究所
-
荻野 俊郎
NTT基礎研究所
-
福田 常男
NTT基礎研究所
-
荻野 俊郎
横浜国立大学
-
荻野 俊郎
横浜国立大学 大学院工学研究院
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